工業機床激光干涉儀

SJ6000工業機床激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在SJ6000工業機床激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

產品功能

（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環境補償。

軟件特點

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業專屬模板定制。

激光干涉儀測量機床直角

如機器軸垂直度誤差測量（數控機床、坐標測量機等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度，即在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調整，光學直角尺測量中，允許調整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。

典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學方法是好選擇，因為傳統的實物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內。

激光干涉儀對數控機床進行螺距誤差補償

數控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償（jue對值）與記憶式螺距誤差補償（增量值）兩種，三菱和法那科系統就是增量值補償的代表之一。當采用激光干涉儀進行增量值補償時，會遇到數據怎么對應補償點位置的問題。

增量值補償時有幾個重要參數：

參考點：參考點也就是基準點。

zui負端：設定zui靠近負端的補償數據編號。

zui正端：設定zui靠近正端的補償數據編號。

補償倍率：寫入機床系統補償量的生效倍率。

補償間隔：機床補償校準時的補償間距。

部分技術規格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。