詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價格區間 | 面議 |
---|---|---|---|
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環保,化工,交通,航天,汽車 |
激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。它采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀光學測量儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀光學測量儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
▲主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
穩頻精度 | 0.05ppm |
動態采集頻率 | 50 kHz |
預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環境補償。
(1)友好的人機界面;
(2)豐富的應用功能模塊;
(3)向導式的操作流程;
(4)簡潔化的記錄管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企業專屬模板定制。
對機床精度再校準
三坐標測量機示值誤差測量
導軌直線度檢測
光刻機X軸Pitch測量
產品咨詢
微信掃一掃