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品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 電子,交通,航天,汽車,綜合 |
SuperViewW1光學粗糙度測量儀以白光干涉技術為原理,能夠以優于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。
結果組成:
1、三維表面結構:粗糙度,波紋度,表面結構,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;
3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;
6、微電子表面分析和MEMS表征。
Z向分辨率:0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性:0.1nm
表面形貌重復性:0.1nm
臺階測量重復性:0.1% 1σ;準確度:0.75%
SuperViewW1光學粗糙度測量儀在材料科學研究,新型材料制備等方面有著廣泛應用,比如測量材料基體和鍍膜后表面形貌和粗糙度,測量材料的磨損性能(通過白光干涉儀測量磨損輪廓和粗糙度)。在MEMS測試項目中,表面特性(粗糙度、臺階高)是一個非常重要的項目,目前主要是采用非接觸式的光學3D輪廓儀(白光干涉儀)進行測量。
在3C領域,可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業,可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業,可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業,可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業,可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在軍事領域,可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度。
SuperViewW1可對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
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