激光干涉儀測量系統

中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量系統可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結合軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析，實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析。

功能

1.可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2.可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3.可實現龍門機床雙軸同步測量；

4.可實現對機床回轉軸的測量與校準；

5.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

6.具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

7.支持手動或自動進行環境補償。

中圖儀器研發生產的SJ6000激光干涉儀測量系統測量分辨率可達0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000回轉軸測量軟件構成。作為一個交流測試系統，當激光光束強度受環境影響發生變化時，其頻率不會受光強變化影響發生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。