chotest激光干涉儀

SJ6000系列chotest激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，結合激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。除了環境適應能力好，還可以進行動態高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。

功能

1.結合不同光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量；

2.在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

中圖儀器研發生產的SJ6000系列chotest激光干涉儀測量分辨率可達0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″，采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。

特點

1.精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

2.功能廣

可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實現龍門機床雙軸同步測量；

可實現對機床回轉軸的測量與校準；

可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

支持手動或自動進行環境補償。

3.軟件強

友好的人機界面；

豐富的應用功能模塊；

向導式的操作流程；

簡潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業專屬模板定制。

SJ6000激光干涉儀的測量系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。