激光干涉儀

中圖儀器SJ6000激光干涉儀可對機床進行校準，并提供數據補償依據，是高品質測量儀器產品。

它集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

產品功能

1. 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2. 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3. 可實現對機床回轉軸的測量與校準；

4. 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

5. 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

6. 支持手動或自動進行環境補償。

激光的高方向性、高相干性和高單色性特點，使其具有普通光源所沒有的優勢。SJ6000激光干涉儀測量分辨率0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。

SJ6000主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。它采用的激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、長期穩定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機分離設計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩定可靠。