三維光學表面輪廓儀

中圖儀器SuperViewW系列三維光學表面輪廓儀專用于超精密加工領域，分辨率可達0.1nm，屬于3D測量領域高精度檢測儀器之一。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SuperViewW系列三維光學表面輪廓儀采用經國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數據標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

技術參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SuperViewW系列光學3d表面輪廓儀支持自動聚焦功能，只需將Z向調到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。

特點

一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；

二是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；

三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；

四是對高深寬比的溝槽結構，可以快速而準確的得到理想的測量結果。

深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來，一直堅持以技術創新為發展基礎，歷經了十多年的技術積累和發展實踐，在微納米運動設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術領域形成了設計、制造優勢，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。