白光干涉儀應用

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀設計簡潔、用途多樣，能夠測量不同的材質、結構、表面粗糙度和波度，涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測量應用。

白光干涉儀應用操作步驟：

1. 將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態穩定；

2. 將夾具放置在載物臺上；

3. 檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；

4. 使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5. 完成掃描設置和命名等操作；

6. 點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；

7. 進入數據處理界面，點擊“去除外形"，采用默認參數，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8. 進入分析工具模塊，點擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類型；

9. 如果想獲取線粗糙度數據，則需提取剖面線；

10. 進入數據處理界面，點擊“提取剖面"圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提??；

11. 進入分析工具界面，點擊“參數分析"圖標，點擊右側參數標準，勾選所需線粗糙度相關參數，即可獲取線粗糙度Ra數據。

白光干涉儀應用

場景一：超光滑的弧形表面

上圖是一款旋轉拋物面零件，用于微小位移和角度檢測，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，針對其凹面弧形的檢測需求，現有的顯微測量儀器中，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡，均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除，只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀，能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描， 重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。

場景二：粗糙的特征表面

上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖，整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區域呈低反射率特點，而圓環外呈高反射率特點，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質量。

根據客戶精度要求，可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調節。