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品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價格區間 | 面議 |
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產品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產地類別 | 國產 |
應用領域 | 環保,能源,電子,航天,汽車 | 影像系統 | 1024*1024像素 |
光源 | 白光/綠光LED | 標準視場 | 0.98x0.98mm |
物鏡搭臺 | 3孔手動 | XY位移移動范圍 | (200x200)mm |
XY位移移動平臺尺寸 | (300x300)mm | Z向行程 | 100mm電動 |
系統橫向分辨率 | 0.1nm | 可測樣品反射率 | 0.05%~100% |
臺階測量準確度 | 0.7% | 臺階測量重復性 | 0.1%1σ |
3d白光輪廓儀是一種用于材料科學領域的分析儀器,也叫白光干涉儀。它能夠以優于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域,用于表面形貌紋理,微觀結構分析。
中圖儀器SuperView W1 光學3D表面輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌的3D測量。采用的光學非接觸式測量方法,以及具有的測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數齊全等優點,加上其*的光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。
產品參數
產品特點
1.雙通道氣浮隔振系統大幅減小了環境振動的影響,還可以降低高精度量測時的噪聲,提高超光滑表面的測試精度。
2.一體化操作的測量分析軟件自動對焦樣品表面,自動智能配置測試參數,使原來麻煩的“找條紋",“選擇測試參數"過程,在一分鐘之內,自動完成。
3.雙重防撞保護功能,除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態,能保護樣品和設備的安全。
軟件功能
(1) 提供多種數據處理方式。
提供校平、鏡像、旋轉等操作調整圖像位置;
提供空間濾波、標準濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數據進行修正;
提供提取區域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區域。
(2) 提供多種分析工具。
提供距離、臺階高度等要素測量;
提供點、線、圓弧、角度等特征測量,以及直線度、真圓度等形位公差評定,為用戶展現強大的輪廓分析功能;
提供基于表面的紋理分析,方便地觀察紋理方向與紋理均質性;
提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數、孔的體積等多種有針對性的分析功能;
提供頻譜分析功能,可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關性等;
提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數分析功能;
提供依據四大國內外標準(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D,3D參數。
(3) 可視化的工作流模式,數據處理器和結果管理器具有可視工作流程樹圖,在每個節點既可以是數據處理選項也可以是分析結果。
(4) 多樣化的視圖觀察角度,3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征,并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。
(5) 內置多種分析方案,可對特定表面進行一鍵分析,自動生成一組分析結果,節約操作時間;并可自定義方案,將用戶的分析項目組合起來,避免重復操作。
(6) 便捷的同步分析功能,可實時提取表面二維剖面,同步計算更新參數指標,實現對樣品的操作所見即所得。
(7) 擁有多種報表形式,用戶可根據需要導出分析結果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。
中圖儀器研發生產的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數??梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。
深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術企業,致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發、生產和銷售。
自成立以來一直以“致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發、生產和銷售"為使命,在幾何量測量領域的潛心研究十幾年,如今在微納米運動設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術領域形成了*的設計、制造優勢,具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。
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