三維白光形貌干涉儀

準確測量和評價精密加工件的三維形貌，對提高加工表面的質量和產品性能有重要的意義。在超精密加工顯微測量場景中，中圖儀器SuperView W1三維白光形貌干涉儀發揮的作用可以用“見一葉而知深秋，窺一斑而見全豹"來形容。大多數的場景只需要檢測一個數十、數百微米的區域，就能達到效果，但是在少數超精密器件的三維形貌場景中，借助中圖儀器的白光干涉儀自動拼接功能，可以實現高精度、大區域的測量。

產品參數

示例應用

現有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點，而單一的光學非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。中圖儀器SuperView W1白光干涉儀實現了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。當傳統測量儀器必須測量超出適配鏡頭下的單視場區域時，會采用自動拼接，而中圖儀器的白光干涉儀，可根據不同表面特點進行重建算法的切換，并且具有以下優勢：

1、行業領域和應用對象廣

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

2、軟件功能豐富

（1）多種數據處理方式；

（2）多種分析工具；

（3）可視化工作流模式；

（4）多樣化的視圖觀察角度；

（5）多種分析方案，可進行一鍵分析；

（6）便捷的實時提取表面二維剖面，同步計算更新參數指標的同步分析功能；

（7）多種報表形式。

中圖儀器研發生產的SuperView W1三維白光形貌干涉儀，分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、臺階高度、粗糙度、孔隙間隙、波紋度、表面缺陷、腐蝕情況、面形輪廓、彎曲變形情況、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。