光學3D輪廓儀

一、產品簡介

SuperView W3光學3D輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

SuperView W3光學3D輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高?？蒲性核阮I域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

二、產品功能

1. 樣件測量能力：滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量；

2. 自動測量功能：自動單區域測量功能、自動多區域測量功能、自動拼接測量功能；

3. 編程測量功能：可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動測量功能，實現一鍵測量；

4. 數據處理功能：提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；

5. 數據分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度依據ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

6. 批量分析功能：可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數實現一鍵批量分析；

三、半導體領域專項產品功能

1. 同步支持6、8、12英寸三種規格的晶圓片測量，并可一鍵實現三種規格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓；

2. 具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能，能夠一鍵測量數十個小區域的粗糙度求取均值；

3. 具備劃片工藝中激光鐳射開槽后的槽道深寬輪廓數據測量功能，能夠一鍵實現槽道深寬相關的面和多條剖面線的數據測量與分析；

4. 具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量，覆蓋從1nm~1mm的測量范圍，實現高精度測量；

四、應用領域

對各種產品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

五、性能特色

1、復合型掃描算法

結合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優點的復合型掃描重建算法，能夠適配從超

光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品；

2、雙重防撞保護

1）軟件ZSTOP防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲；

2）Z向防撞傳感器，當鏡頭碰到樣件表面，鏡頭即回縮，進入緊急停止狀態，不再下移；

3、地面振動&聲波振動隔振防護

氣浮隔振設計&吸音材質隔離設計，確保儀器在嘈雜的車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動干擾，正常工作；

4、環境噪聲評價

提供環境噪聲評價模塊，能夠定量檢測出當前環境噪聲對儀器的干擾，對儀器的調試和使用提供數據依據；

5、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

六、技術指標

1.技術規格表

注：粗糙度性能參數依據ISO 25178國際標準在實驗室環境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數獲得；

臺階高性能參數為依據ISO 5436-1:2000標準在實驗室環境下測量4.7µm臺階高標準塊獲得。

若非實驗室環境，準確度和重復性指標需根據環境噪聲等級相應下調。

2．儀器尺寸（長×寬×高）： 主機：1000×900×1500㎜；

3．儀器主機重量：小于500Kg；

4．使用環境：無強磁場，無腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 2℃/60分鐘

相對濕度：5%-95%RH，無凝露

環境振動：VC-C或更優

隔振氣源：0.8Mpa穩壓清潔氣源，除油、除水，氣管直徑6㎜（可無）

七、產品配置清單

標準配置：

1. SuperView W3主機：龍門架構造、懸臂式測頭；

2. 影像系統：1024×1024

3. 光學Zoom：0.5×

4. 干涉物鏡：10×

5. XY位移載物臺：自動位移臺

6. DELL品牌計算機

7. 4.7μm  Z向校準臺階塊

8. 操縱手柄

9. 中圖W1光學3D表面輪廓儀軟件

10. 自動多區域測量、自動拼接測量功能模塊

11. 電氣控制柜

12. 儀器配件箱

13. 產品使用說明書

14. 產品合格證、保修卡

可選配置：

1. 干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×

2. 光學zoom：0.75 ×、1×；

3. 同步兼容式真空吸盤，兼容12 inch及以下所有規格晶圓樣品；

八、交貨與驗收

1、交貨

1）交貨期：合同生效后40個工作日內。

2）交貨地點：免費快遞到需方的交貨地點。

2、安裝與培訓

1）我公司負責在用戶現場對設備行進安裝和調試；

2）在設備安裝調試時對買方技術人員進行理論、實際操作及維修等的培訓，使用戶技術人員掌握設備操作，能熟練使用設備進行檢定工作，保證設備正常運行并能排除設備的一般故障和特殊保養。

3、驗收

1）驗收標準：以合同及技術協議為準。

2）驗收項目：核對該設備的主機及附件、工具的數量及規格應符合合同技術協議及設備使用說明書的要求；核對該設備的使用說明書等各類資料是否齊全，是否滿足技術協議要求。

3）在合同驗收和合同執行過程中，如有任何影響設備的性能的漏項和短缺，如設備附件、技術資料、使用手冊、用工具，備品備件、服務及技術指導等，我公司負責免費將漏項和短缺補齊。

4）驗收合格后，雙方簽定《產品驗收報告》。

5）產品外觀以實物為準。

九、售后服務

1、設備質保期

1）驗收合格雙方簽定《產品驗收報告》后12個月內；

2）在質保期內發生的故障，其故障部分質保期自修復之日起順延。

2、售后服務內容

1）質保期內：實行“三包"，用戶所購設備各部件發生非人為故障，我司免費更換同種品牌不低于原價位、規格、型號的部件。

2）質保期后：我公司提供持續的優惠服務和技術支持，設備出現故障需要修理時，所換零件按成本價收取。軟件隨國家規程變更免費升級，硬件優惠升級。

3）排故響應時間：我司在接到報障信息后，2小時內回應，我司通過電話、郵件的方式指導買方排除故障；若故障仍不能排除，將在72小時內上門調試維修排故或用戶將儀器發回本公司維修。