光學輪廓儀是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
光學輪廓儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進行測量的，是接觸測量。其主要優點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評定標準讀數或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測量速度快、結果可靠、操作方便。但是被測表面容易被觸針劃傷，為此應在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。
光學輪廓儀的操作步驟：
1、將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態穩定；
2、將夾具放置在載物臺上；
3、檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；
4、使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；
5、完成掃描設置和命名等操作；
6、點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；
7、進入數據處理界面，點擊“去除外形”，采用默認參數，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；
8、進入分析工具模塊，點擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類型。
9、如果想獲取線粗糙度數據，則需提取剖面線；
10、進入數據處理界面，點擊“提取剖面”圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提??；
11、進入分析工具界面，點擊“參數分析”圖標，點擊右側參數標準，勾選所需線粗糙度相關參數，即可獲取線粗糙度Ra數據。
